Trockenschränke

Industrie Ofensysteme und Vorwärmeinrichtungen

Wärmekammern

Wärmekammern
  • Einsatztemperatur:
    bis 600 °C
  • zur schonenden, gradgenauen,
    thermischen Behandlung von Bauteilen
    im Bereich der Fertigung von
    elektronischen Leistungsstellern

Anwendungsbereiche

Wärmekammern werden zur schonenden, gradgenauen, thermischen Behandlung von Bauteilen im Bereich der Fertigung von elektronischen Leistungsstellern verwendet. Eine Inertgasatmosphäre unterstützt diesen Prozess.


Optionen

  • abweichende Betriebsspannungen/Leistungen
  • abweichende Betriebstemperaturen
  • Lackierungen, auch mehrfarbig nach Kundenwunsch
  • Gerätebeschriftung und -dokumentationen in beliebigen Sprachen
  • Innenkesselmaterial aus verzinktem-, feueraluminiertem Stahlblech oder Edelstahl
  • Schubladen aus Aluminium oder Edelstahl
  • Schubladenböden aus Lochblech (quadratische Lochung bzw. Rundlochung möglich)
  • für schweres Beschickungsgut sind stabile/massive Auflageregale im Trockner lieferbar
  • elektronische PID Temperaturregelung mit Lastschaltung Schütz bzw. Solid State Relais
  • Temperaturregelung mit Selbstoptimierungs-Funktion, Prozessalarme für weitere Verarbeitung möglich
  • Mehrkammertrockner
  • Türen an Vorder- und Rückseite
  • elektronische Digitalzeitschaltuhr
  • Betriebsstundenzähler
  • Timerfunktion, schaltet nach Ablauf der eingestellten Zeit (max. 99h 59min) ein (auf Wunsch auch aus)
  • Programmregler mit bis zu 20 Programmen mit jeweils 16 Segmenten
  • Melde- und Warnleuchten je nach gewünschter Funktion
  • Sichtfenster in der Trocknertür zur visuellen Überwachung
  • begehbare Ausführungen mit Innenraumentriegelung der Tür und ggf. zusätzlicher Notleuchte entsprechend Maschinenrichtlinie 2006/42/EG
  • Mehrkanal Grafikschreiber zur Dokumentation des Temperaturverlaufes
  • Schnittstellen nach Kundenspezifikation

Ausführungsbeispiele

Beispiel 1 - bis 450 °C - 400 x 1.000 x 600 mm - A# 1367550
Wärmekammern bis 450 °C
  • 400 x 1.000 x 600 mm
    (B x T x H)
  • Betriebstemperatur: bis 450 °C
  • Heizleistung: 8,5 kW

Diese Wärmekammer wird zur thermischen Behandlung von Waferscheiben für die Halbleiterfertigung unter Stickstoff- und Formiergasatmosphäre verwendet. Ziel: Elektronenbestrahlungen und Ionenimplantationen verursachen im Halbleiterwafer Strahlenschäden, die mit Hilfe eines Temperaturprozesses (250 °C bis 420 °C) gezielt wieder ausgeheilt werden können. Der Ausheilprozess muss unter Inertgasatmosphäre bei einem hohen Grad an Temperaturstabilität und -reproduzierbarkeit durchgeführt werden können.

Ausführung

  • elektronischer Temperaturregler mit elektronischem Übertemperaturschutz
  • Leistungsschaltung: Solid State Relais
  • Temperaturerfassung über 4 Mantelthermoelemente Typ „K“ zur Prozessüberwachung
  • im Innenraum eingebautes Edelstahl-Prozessrohr aus Werkstoff 1.4541 / 1.4301
    Innendurchmesser: 200 mm
    Außendurchmesser: 204 mm
    Rohrlänge : 720 mm
    Boden 5 mm dick mit Eingang für das vorgewärmte Prozessgas
  • Durchflussmesser, Druckminderer und Absperrventile für Stickstoff- und Formiergasanteil
  • Lackierung: RAL 6011 resedagrün Struktur
Beispiel 2 - bis 550 °C - Nutzraum: Ø 250 x 750 mm lang - A# 1170496
Wärmekammern bis 550 °C
  • Nutzraum: Ø 250 x 750 mm lang
  • Betriebstemperatur: bis 550 °C
  • Heizleistung: 10 kW
  • Kühlgebläse: 460 W

Diese Wärmekammer wird zur thermischen Behandlung von Waferscheiben für die Halbleiterfertigung unter Stickstoff- und Formiergasatmosphäre verwendet.

Ausführung

  • elektronischer Programmregler mit drei Programmen
  • Programmauswahl und -start über separate Steuerschalter
  • elektronischer Übertemperaturschutz
  • Leistungsschaltung: Solid State Relais
  • Heizbandüberwachung (max. 700 °C)
  • Istwertausgang über Flanschdose
  • Trockenkammer aus Edelstahlrohr Material 1.4571 mit montiertem Heiz-Kühl-Keramik-System
  • Doppelgebläse zur schnellen Abkühlung der Innenraumtemperatur
  • Durchflussmengenmesser für Stickstoff- und Sauerstoffanteil mit 2/2 Wegeventile, die Ansteuerung erfolgt über Rastschalter oder Programmregler
  • Lackierung: RAL 6011 resedagrün Struktur