Konzeption und Fertigung eines Trockenschrankes TRUS/S
Einsatzgebiet:
- Thermische Behandlung von Waferscheiben für die Halbleiterfertigung
Merkmale:
- Elektronische Programmregelung mit KS 94 (Einsatztemperatur bis max. 550°C) mit
3 Programmen
- Programmauswahl und -start über separate Steuerschalter
- Elektronischer Übertemperaturschutz
- Heizleistung 10kW
- Leistungsschaltung Solid State Relais
- Heizbandüberwachung für die Keramikheizung (max. 700°C)
- Istwertausgang über Flanschdose
- Trockenkammer aus Edelstahlrohr Mat.1.4571 mit montiertem Heiz-Kühl-Keramik-
System
- Doppelgebläse zur schnellen Abkühlung der Innenraumtemperatur
- Durchflussmengenmesser für Stickstoff- und Sauerstoffanteil mit 2/2 Wegeventilen.
Die Ansteuerung erfolgt über Rastschalter oder Programmregler
 |
 |